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特種氣體系統(tǒng)的設計與施工要求

發(fā)布時間： 2023-10-11　　點擊次數(shù)： 1764次

特種氣體是指那些在特定領域中應用、對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。在半導體器件，尤其是大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)過程中用途廣泛。博泰小編帶大家了解相關知識。

一、分類
特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體。根據(jù)供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

二、特種氣體管道的施工
特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進行嚴格的監(jiān)控和管理。最后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

三、供氣系統(tǒng)的選擇
1、簡單供氣系統(tǒng)
簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構(gòu)以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應系統(tǒng)的投資預算低。

2、常規(guī)供氣系統(tǒng)
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應用于4-6英寸大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單。

3、大宗特氣供氣系統(tǒng)
大宗特氣供應系統(tǒng)采用全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空。注意安全防護措施，防止泄漏偵測，設置遠程緊急切斷和專用氮氣吹掃起源等等。

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特種氣體系統(tǒng)的設計與施工要求